《集成电路工艺原理》教学内容的改革探究摘要：教学内容的设计是教学过程中的关键环节之一，只有合理选择和组织教学内容，恰当安排教学内容的表述，才能有效地保证教学质量。本文从《集成电路工艺原理》课程特点出发，针对培育创新型大学生的需求，深化剖析了目前课程教学中存在的主要问题，提出了在课程教学内容改革方面的一些措施，以期达到激发学生学习兴趣，增强学生学习动力，提高课堂教学质量的目标。关键词：大规模集成电路集成电路制造工艺教学内容21 世纪以来，信息产业已成为我国国民经济进展的支柱产业之一，同时也是衡量一个国家科技进展水平和综合国力的重要指标。超大规模集成电路技术是信息产业的重要基础，而集成电路制造工艺又是超大规模集成电路的核心技术。因此，对集成电路工艺的优化和创新就成为提高信息产业综合实力，增强国家科技竞争力的关键所在。近年来，尽管我国微电子技术不断进步，但与微电子技术发达的国家相比，仍存在着相当大的差距。因此，要实现由集成电路生产制造大国向集成电路研发强国的转变，就迫切需要培育一批高质量的超大规模集成电路工艺技术人才[1]，这也正是《集成电路工艺原理》这门课程所要实现的目标。然而，目前《集成电路工艺原理》课程的教学效果并不理想[2]，[3]，究其根本原因在于该课程存在内容陈旧、知识点离散、概念抽象、目标不明确等不足[4]。同时，由于大部分普通高校没有足够的实验设备和模拟仿真实验平台，无法使学生熟悉和掌握工艺仪器的操作，导致学生所学知识与实际应用严重脱钩，甚至失去学习积极性，产生厌学情绪。为此，依据我院微电子专业本科生的教学情况，我详细分析了教学过程中存在的问题，提出了改革方案。一、目前教学中存在的问题1.学习目标不明确。现有的教学内容往往采纳先分别独立讲授单项加工工艺，待所有工艺全部讲授完毕，再综合利用所有工艺演示制作 CMOS集成电路芯片的流程。这种教学模式会造成学生在前期的理论学习过程中目标不明确，无法掌握单项工艺在芯片加工中的作用，不能与实际器件加工进行对应，造成所学知识与实际应用严重错位，降低了学生的学习积极性和主动性。2.知识衔接性差。本课程的重点内容是集成电路工艺的物理基础和基本原理，它涉及热学、原子物理学、半导体物理等离子体物理、化学、流体力学等基础学科，然而，大部分学生并未系统地学习过譬如等离子体物理、流体力学等课程，这就不可避开地造成了教学内容跨越性大的问题，无法实现知识...
