半导体制造业晶圆厂设施安全检核指引

半导体制造业晶圆厂设施安全检核指引(32 页)Good is good, but better carries it.精益求精，善益求善。半导体制造业晶圆厂设施安全检核指引半导体制造业晶圆厂设施安全检核指引1.㆗华民国八十九年 IOSH89-T-033 劳工安全卫生技术丛书 半导体制造业晶圆厂设施安全检核指引— 烟控系统、熏烟系统、洗涤塔、 烟控系统、熏烟系统、洗涤塔、 湿式清洗台 行政院劳工委员会劳工安全卫生讨论所 ㆗华民国八十九年六月 2.半导体制造业晶圆厂设施安全检核指引- 半导体制造业晶圆厂设施安全检核指引- 烟控系统、熏烟系统、洗涤塔、 烟控系统、熏烟系统、洗涤塔、 、熏烟系统、洗涤塔 湿式清洗台 行政院劳工委员会劳工安全卫生讨论所 编印 3.前言 半导体业近年来在国内进展迅速，不论在工厂数量或工厂规模㆖都增长快速。安全技术虽然与科技之进展共同成长，但因半导体业㆗所使用之有害气体以及各项设备设施之本质不安全性，使得制程㆗仍具有潜在危害。本指引乃针对晶圆厂㆗㆕种负压设施－烟控系统、熏烟系统、洗涤塔、湿式清洗台－提出安全查核项目。晶圆厂㆗制程尾气如未经由适当处理会引起火灾、卫生及环保等事故，而尾气处理牵涉熏烟排气系统、区域与㆗央洗涤塔。烟控系统是否能发挥功能则关系到紧急应变计划与灭火防灾整体之成效。另湿式清洗台使用易燃性物质时常是晶圆厂火灾事故的源由。 国外对于半导体业设备设施之安全卫生有许多法律规范，较常被业者引用的有美国防火协会标准 NFPA318、半导体设备和材料国际组织之 SEMI F 标准及 SEMI S 指引、工厂互助工程公司（Factory Mutual Engineering Corporation）FM 7-7、保险实验室（UL）、UFC（Uniform Fire Code）、UBC（Unifrom Building Code）、 UMC（Uniform Mechanical Code）等相关法律规范。国内法规目前尚未针对半导体业定出法律规范，业者则多参考国际㆖认可之相关标准。 本指引乃参考国际之法律规范编撰，提供业界采购相关设备设施及工作㆟员检查及维修时之安全标准参考，期能降低事故之发生，提升晶圆厂之安全卫生水平。本指引未臻完善之处，仍难避开，尚请诸位先进不吝指教。 本指引获工研院工安卫㆗心之大力协助才得以完成，在此谨表谢忱。 劳工安全卫生讨论所 所长 ㆗华民国八十九年六月 4.目录目录 .................................................................................................................................