第1页共12页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第1页共12页“浙江师范大学---LED芯片研发中心”超净室设备采购清单序号项目名称设备、材质及工程技术要求性能要求主要技术指标1气体供应及防护系统一、总体功能描述：气体供应及防护系统是为PECVD和TCP设备安全供应气体，保证PECVD和TCP设备的正常使用，对工艺尾气作处理，并实现远程监控与报警。二、需供气体及要求1.TCP刻蚀设备需供气体及要求a.Cl2：气压：1kg/cm2，最大流量：100sccm，纯度：4N管径：1/4"VCRMale，管材：SUS316b.BCl3：气压：1kg/cm2，最大流量：100sccm，純度：4N管径：1/4"VCRMale，管材：SUS316c.He：气压：1kg/cm2，最大流量：30sccm，純度：4NCHF3：气压：1kg/cm2，最大流量：500sccm，純度：4N管徑：1/4"VCRMale，管材：SUS316d.Ar，N2，O2：气压：1kg/cm2，最大流量：200sccm，純度：4N管径：1/4"VCRMale，管材：SUS3162.PECVD设备需供气体及要求a.SiH4气压：1kg/cm2，最大流量500sccm,管徑：1/4"VCRMale，管材：SUS316，純度5%SiH4,95%N2b.N2O气压：1kg/cm2，最大流量500sccm管徑：1/4"VCRMale，管材：SUS316，純度4Nc.CF4/O2气压：1kg/cm2，最大流量500sccm,管徑：1/4"VCRMale，管材：SUS316，純度CF480%,O220%d.NH3气压：1kg/cm2，最大流量200sccm防漏、防爆、自动保护处理1.自动检测气体是否泄漏；2.自动警示气体泄漏；3.自动消除泄漏气体。4.SiH4的检测范围为0～20ppm，一段报警值为2.5ppm，二段报警值为5ppm；5.Cl2的检测范围为0～2ppb,一段报警值为0.25ppm，二段报警值为0.5ppm。6.NH3的检测范围为0～100ppm，一段报警值为12.5ppm，二段报警值为25ppm。7.当气体房侦测器达到一段预警时，气体房中相应的报警灯红灯闪烁，蜂鸣器启动，同时关闭相应的气柜。通过图控软件隔离按钮可以隔离报警第2页共12页第1页共12页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第2页共12页管徑：1/4"VCRMale，管材：SUS316，純度4Ne.O2气压：1kg/cm2，最大流量500sccm管徑：1/4"VCRMale，管材：SUS316，純度4Nf.PN2气压：1kg/cm2，最大流量500sccm管徑：1/4"VCRMale，管材：SUS316，純度4N3.气源a.＃1Room：SiH4、NH3放置于＃1Room气体房内。设备采用单钢瓶工艺供气系统，吹扫所使用高纯氮气接自惰性气体房工艺氮气面板，普通氮气接氮气罐。气瓶柜采用半自动控制型式操作，钢瓶出口端设置EMO紧急切断阀门。气体设备接出来的管道穿墙后在吊顶上敷设。SiH4采用双套管，外层SS304AP内层SS316LEP。系统连接方式为VCR或全自动轨道焊接形式。更换气瓶时对应的特气排放至燃烧水洗式尾气处理装置集中处理。b.＃2Room:CHF3、CH4、N2、O2放置于＃2Room气体房。设备采用单钢瓶工艺供气系统，吹扫所使用高纯氮气接自惰性气体房工艺氮气面板，普通氮气接自气罐。CHF3、CH4、N2、O2分别组成单瓶架，手动控制型式。c.＃3Room:Cl2为腐蚀性气体，放置于＃3Room气体房。设备采用单钢瓶工艺供气系统，吹扫所使用高纯氮气接自惰性气体房工艺氮气面板，普通氮气接自气罐。气瓶柜采用半自动控制型式操作，钢瓶出口端设置EMO紧急切断阀门。气体设备接出来的管道穿墙后在吊顶上敷设。Cl2采用SS316LEP管材。系统连接方式为VCR或全自动轨道焊接形式。更换气瓶时对应的特气排放至燃烧水洗式尾气处理装置集中处理。三、系统构架及要求1.气路基本要求：a.各种气体管道应设置明显标志。b.所有系统设计都必须遵从SEMIS2和FM7-7标准。c.按照需求设计吹扫和气管路。d.抽气管路必须遵从本地编码及适用的工业规范、安全政策。2.气瓶柜结构(1)气瓶柜构造信号的输出。8.当机台侦测器达到一段预警时，机台的报警灯红灯闪烁，蜂鸣器启动，同时关闭上游相应的气柜。第3页共12页第2页共12页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第3页共12页a.气瓶柜面板应该是厚度大于等于2.5mm的钢板并涂有抗腐蚀环氧涂层，并且所有材料都必须是非易燃的。b.气瓶柜全表面都不能有震动，锋利的边缘及可能导致操作人员受伤的其他缺陷。c.气瓶柜的底板厚度应该大于等于3.4mm，并铺盖有防滑垫片以抵抗更换钢...
