化学机械抛光液（ CMP ）氧化铝抛光液一、行业的界定与分类................................................................................................................... 2（一）化学机械抛光............................................................................................................... 21、化学机械抛光概念..................................................................................................... 22、 CMP工艺的基本原理.................................................................................................. 23、 CMP技术所采用的设备及消耗品.............................................................................. 24、CMP 过程 .................................................................................................................... 25、 CMP技术的优势 ........................................................................................................ 2（二）化学机械抛光液........................................................................................................... 31、化学机械抛光液概念................................................................................................. 32、化学机械抛光液的组成............................................................................................. 33、化学机械抛光液的分类............................................................................................. 34、CMP 过程中对抛光液性能的要求 ............................................................................ 3（三）化学机械抛光液的应用领域....................................................................................... 3二、原材料供应商........................................................................................................................... 4三、化学机械抛光液行业现状....................................................................................................... 4（一）抛光液行业现状..........................................................
