SEM-操作使用手册VIP专享

下载后可任意编辑Z ｅ i ｓ s Sup ｒ a5 ５(VP)扫描电子显微镜简要操作指南一、开机阐明冷启动环节1、 启动 UP Ｓ打开墙上空气开关,确认 U Ｐ S 背面电池开关打开,按前面面板上 O ｎ键至两个绿灯亮。2、 启动循环水冷机。按Ｏｎ键,确认水泵 1 和制冷批示灯亮。检查出水口压力在２~３ｂａ r。出水口压力可由压力表下方阀门调节。若有报警,检查水位，按 Res 键。3、 启动空气压缩机。确认空气压缩机上启动阀门上开关为“I”状态。检查输出气压为 5~6 ｂ a ｒ。4、 确认主机后两个电源开关状态为Ｏ n。此时，主机前面板上红灯亮。5、 按下黄键。阐明:前级真空泵进入工作状态，分子泵、潘宁计和离子泵自动顺序启动。6、 按下绿键。按下绿键后,电脑会自动启动,输入计算机密码:7、 启动Ｓ martSEM 软件。顾客名: syst ｅｍ 密码： 8、 检查真空值,等待真空就绪。注意:当 S ｙ stem Vacu ｕｍ<２×1 ０-５ｍ Bar 时,会自动打开 CI Ｖ阀门(ｃ o ｌ um ｎ is ｏ la ｔｉ o ｎ valv ｅ),并启动离子泵。 当Ｇ u ｎ Va ｃ uum=<5×10-９ｍＢ ar 时，可启动灯丝。若长期停机,需做烘烤。9、 启动灯丝。10、开 TV，检查样品台。11、装样品(见第二部分)。12、加高压(EH Ｔ）。１ 3、观测样品。待机状态1、 关闭高压(EHT)。2、 关闭Ｓ mar ｔＳ EM 软件。注意：分两步，先关顾客界面Ｕｓｅ r Int ｅ r ｆ ace,后关后台程序 E Ｍ Serv ｅ r。3、 关Ｗ indo ｗ s。4、 必要时,关能谱、EBSD。5、 按下黄键此时,电子光学系统、样品台及检测系统电源关闭。电镜真空系统和灯丝继续工作。待机状态启动1、 按下绿键。按下绿键后,电脑会自动启动,输入计算机密码：2、 启动 S ｍａ rtSE Ｍ软件。顾客名：ｓｙｓ tem 密码： 3、 检查真空值。下载后可任意编辑4、 换样或加高压观测样品。关机环节1、 关高压（E ＨＴ)和灯丝。2、 关Ｓｍ a ｒｔＳＥ M 软件。注意:分两步,先关顾客界面Ｕｓｅ r Ｉ nt ｅ rfac ｅ,后关后台程序Ｅ M Ｓｅ rve ｒ。3、 关 Win ｄ ows。4、 关能谱、EB Ｓ D。5、 按下黄键,等待～10 秒钟。等待电子光学系统、样品台及检测系统电源关闭。6、 按下红键。7、 关循环水冷机。8、 必要时，关氮气总阀门。9、 必要时,关Ｕ PS。10、必要时,关墙上空气开关。烘烤环节1、 确认高压(EH Ｔ）和灯丝关闭。2、 拨...