1 7 -1 真空的获得与测量实验 引言 真空技术已成为先进的科学技术之一，被广泛应用于工业生产、科学研究的各个领域。它与电子管真空工业、原子能、宇宙航行及空间科学研究、表面物理研究、微电子学等有着紧密地联系。真空技术的主要环节和基础是真空的获得，真空的测量及真空检漏等，通过本实验我们将对这些实验的方法和手段进行初步的学习和了解。 实验预习 1． 学习旋片式机械真空泵、油扩散泵的工作原理； 2． 了解真空的获得与测量实验系统及实验注意事项。 实验目的 1．通过低真空的获得，学习使用旋片式机械真空泵和测量低真空的热偶计。掌握测量容器的体积比。 2．通过高真空的获得，学习使用油扩散真空泵和测量高真空的电离真空计。 3．了解玻璃管和金属在高真空中的放气现象和去气方法。 4．通过制作放电管，掌握对放电管充气方法，观察放电管放电现象，并计算最佳放电时放电管内的气压差。 4．测量氦（或氖）放电管光谱，并进行光谱分析（选做）。 实验装置 一、真空系统 该实验装置由被抽真空的容器，旋片式机械真空泵和油扩散真空泵，测量真空度的热电偶真空计、电离真空计，不锈波纹钢管道和真空阀门所连成的一个整体系统称为真空系统。系统结构如图7-1-1 所示。 TG1、TG2——热偶真空规管， IG——电离真空规管； A、B、C——真空容器； 1V ——油扩散泵蝶阀，2V 、3V 、4V 、6V 、8V 、9V 、10V、11V——角阀，5V ——针形阀， 7V ——电磁真空压差阀，12V——三通阀，13V、14V——两级压力调节器； H——加热炉，CT ——加热炉温度计 扩散泵 机械泵 差压传感器 I 差压传感器 II 加热炉 充 气 瓶 放电管 充气连接管 通大气 图7-1-1 真空获得与测量实验系统结构图 2 1 ．低真空系统。 该部分实验利用理想气体波义耳定律测量容器A 和容器B 的容积比。低真空通过旋片机械泵获取，连接在机械泵上的电磁阀在接通电源时将抽气口与被抽系统接通，停泵时，割断泵与被抽系统的连接，而与大气相通，防止机械泵返油。复合真空计的热电偶计TG1，用于监测系统真空状态，利用差压传感器I(24PCC)测量容器A、B 充气后的压强，三通阀V12可以使差压传感器的C 口通大气，也可以通容器B，分别用于传感器定标和测量系统压强。 2 ．高真空系统 高真空系统是利用前级的旋片式机械泵和后级的油扩散泵来获得容器C 和放电管 HeDT的高真空状态，然后对放电管充入 Ne 或 He 气，制造 Ne ...
