3 6 洁 净 室 及 相 关 受 控 环 境 —— 第 3 部 分 ： ….. 检测方法 ISO 14644-3 第一版2005-12-15 Reference number ISO 14644-3:2005(E) 国 际 标 准 INTERNATIONAL STANDARD Copyright International Organization for Standardization Provided by IHS under license with ISO No reproduction or networking permitted without license from IHS 37 洁净室及相关受控环境 第3 部分：检测方法 目 次 前言 引言 1 范围 2 引用标准 3 术语与定义 3.1 概述 3.2 空气悬浮粒子测量 3.3 空气过滤器与系统 3.4 气流 3.5 静电测量 3.6 测量仪器与测量条件 3.7 占用状态 4 检测方法 4.1 洁净室检测 4.2 原理 5 检测报告 附件 A（资料） 各种检测的选择和实施顺序 附件 B（资料） 检测方法 附件 C（资料） 检测仪器 文献（略） 38 前 言 国际标准化组织（ISO）为全球各国标准化组织（ISO 成员）的联合会，国际标准的编写工作由其下的各技术委员会进行。ISO 的各个成员组织若对技术委员会的某个课题感兴趣，它就有权参加该技术委员会的工作。国际上凡与 ISO 保持联系的政府的或是非政府组织，均可参与此项工作。ISO 在电气技术标准化的各项事宜中，与国际电气技术委员会（IEC）进行紧密合作。 国际标准草案是按照 ISO/IEC 指导条例第 2 部分的法则制定的。 技术委员会的主要任务是制定国际标准。国际标准草案由其技术委员会认可后送各会员团体进行传阅，以待表决。至少需要 75%投票的会员团体投赞成票才可将草案作为国际标准颁布。 ISO 14644 的这一部分中可能有些内容会涉及到专利权。ISO 不对识别任何或全部这类专利权负责。 ISO 14644-3 是由洁净室及相关受控环境技术委员会 ISO/TC 209 编写的。 ISO 14644 在洁净室及相关受控环境的总标题下包含下述各部分： —— 第 1 部分：空气洁净度分级 —— 第 2 部分：证明一直符合ISO 14644-1 的检测和监测技术条件 —— 第 3 部分：检测方法 —— 第 4 部分：设计、建造和启动 —— 第 5 部分：运行 —— 第 7 部分：隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境） —— 第 8 部分：空气分子污染分级 正在编写的部分有： —— 第 6 部分：词汇 39 引 言 洁净室及相关受控环境须将空气悬浮粒子控制在合适的水平，以完成相关的...
