JEM -2010 例 行 簡 易 操 作 步 驟 1 NO YES 設 定 MAG X 40K TEM 1-3 OR 2-3 調 整 OBJ FOCUS KNOB 使 DV= +0 YES NO 改 變 SPOT-SIZE 由 1-3 至 3-3 時 ，BEAM 是否在CENTER?YES 使 用 CL APERTURE X. Y 來 CENTER BEAM使 用 Z 軸來 FOCUS SAMPLE 轉動 Brightness, Beam 是否呈現同心圓收放? BEAM 在收放的同時 ，是否呈現橢圓形變 化?YES 使 用[Cond STIG]-DEF X, Y 來調 整 , 使 BEAM 成圓形 TEM 1-3 時 調 [GUN] SHIFT X,Y CENTER TEM 3-3 時 調 [BRIGHT-TILT] Shift X, Y CENTER 如此重覆 BEAM 是否在 SCREEN CENTER ?使 用[Bright-Tilt] - Shift X. Y 調 至 中央 YES NO 檢查 DV 是否為 0 PAGE-1 1. 確定 SIP VACUUM < 5 X 10-5 Pa 4. FILAMENT ON 2. 升壓加 200KV 5. 檢查試片位置是否歸零 3. 確定 SF6氣壓 6. 確定 D V值為 +0 NO NO 2 YES YES NO 觀 察 倍 率>50K? VOLTAGE CENTER 是 否OK?調 整 [BRIGHT-TILT] DEF X, Y 使 其 呈 最 小 的 晃 動 NO OL APERTURE 是否 在 CENTER? 調 整 [OBJ STIG] DEF X.Y 至 IMAGE 最 清 楚 調 整 OL APERTURE X.Y 來 CENTERIn DIFF MODE No是 否 有 OL 像 差 存 在 ? 調 整 適 當 的 曝 光 時 間約 2~4 Sec. 並 按 下 Photo Twice 送片照相即可 找到所需的 位置放入 OL APERTURE 3TEM 例 行 操 作 (JEOL 2010 Alignment ) 儀 器 及 真 空 狀 態 之 準 備 動 作 1. 確 定 SIP VACUUM < 5 X 10-5 Pa 2. 確 定 SF 6氣 壓 3. FILAMENT ON 4. 升 壓 加 200KV 5. 檢 查 試 片 位 置 是 否 歸 零 6. 確 定 D V 值 為 +0 (一 ) 電 子 槍 線 圈 傾 斜 校 準 (Gun tilt, 在 FEG 時 為 Anode wobbler) 1.試 片 移 開 螢 幕 ， 倍 率 調 至 15K。 2.Spot size 選 用 1， 調 整 brightness鈕 ， 將 電 子 束 縮 為 最 小 亮 點 ， 以 Gun shift X,Y 將 亮 點 移 至螢 幕 中 央 。 (二 ) 電 子 槍 偏 移 校 準 (Beam shift) 1.倍 率 仍 設 為 15K ， Spot size換 至 3(or 5)。 2.以 brightness鈕 將 電 子 束 ...
