JEM -2010 例 行 簡 易 操 作 步 驟 1 NO YES 設 定 MAG X 40K TEM 1-3 OR 2-3 調 整 OBJ FOCUS KNOB 使 DV= +0 YES NO 改 變 SPOT-SIZE 由 1-3 至 3-3 時 ，BEAM 是否在CENTER
YES 使 用 CL APERTURE X
Y 來 CENTER BEAM使 用 Z 軸來 FOCUS SAMPLE 轉動 Brightness, Beam 是否呈現同心圓收放
BEAM 在收放的同時 ，是否呈現橢圓形變 化
YES 使 用[Cond STIG]-DEF X, Y 來調 整 , 使 BEAM 成圓形 TEM 1-3 時 調 [GUN] SHIFT X,Y CENTER TEM 3-3 時 調 [BRIGHT-TILT] Shift X, Y CENTER 如此重覆 BEAM 是否在 SCREEN CENTER
使 用[Bright-Tilt] - Shift X
Y 調 至 中央 YES NO 檢查 DV 是否為 0 PAGE-1 1
確定 SIP VACUUM < 5 X 10-5 Pa 4
FILAMENT ON 2
升壓加 200KV 5
檢查試片位置是否歸零 3
確定 SF6氣壓 6
確定 D V值為 +0 NO NO 2 YES YES NO 觀 察 倍 率>50K
VOLTAGE CENTER 是 否OK
調 整 [BRIGHT-TILT] DEF X, Y 使 其 呈 最 小 的 晃 動 NO OL APERTURE 是否 在 CENTER
調 整 [OBJ STIG] DEF X
Y 至 IMAGE 最 清 楚 調 整 OL APERTURE X
Y 來 CENTERIn DIFF MODE No是 否 有 OL 像 差 存 在
