无尘室测试与认证 无尘室性能测试〈Cleanroom Performance Testing〉和无尘室认证〈Cleanroom Certification〉有何分别？基本上无尘室认证就是做无尘室的性能测试，但是认证者对所测试的结果要负完全责任，要保证测试仪器、测试程序都满足 NEBB 规定。这话说来简单，做起来可不容易，因为空调系统与无尘室的设计变化很多，有些时候业主的要求也不尽相同。在不同的设计理念与不同的业主要求之下，测试的执行就有些差异。因此做无尘室认证，首要之务是熟悉空调系统与无尘室设计。NEBB 对无尘室认证人员〈称为 Cleanroom Performance Testing Su perv isor〉的基本要求有四，一是对空调系统和无尘室的了解，二是对相关规范的了解，三是对测试仪器与测试程序的了解，四是本身的经验与口碑。这些是入门的要求，通过检定成为 Su perv isor 之后，须受 NEBB 管辖，并且要时时温习法规规范与关注新科技发展，每年向 NEBB 报到至少一次，两年复检一次资格，要求很多。 因此无尘室性能测试谁都可以做，只要会操作仪器就可以；但是要得到严谨可信赖的测试数据，就必须依*资格符合的专业人士。以下数据是尘室的各项性能测试说明，首先是测试简介，说明一些基本概念，之后是测试程序及注意事项。至于测试的底线，就是数据不可更改也不可抛弃，这是不变的铁律。 测试简介 在测试无尘室之前，若是能对测试规范、无尘室基本概念、无尘室的术语等有些了解，对测试当有帮助。这里是一些背景资料，提供给读者参考。 有关无尘室定义、建造、控制、管理等等的国际标准，在网络上用〝contamination control〞搜寻，可以找到很多相关数据。无尘室的定义，最早是在美国联邦标准 209 上出现，之后日渐普及并广为半导体业与制药业接受。在欧洲与日本，随着工业的日益发展，各国的版本也逐渐出现。到了 90 年代后期，产业界体认到若是无共同标准，就不能实现经济的全球化，于是有ISO-14644 的产生。以下说明无尘室的各种标准与规范。 1.Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) ：美国联邦标准 209E，209 的出版发行，是在 1960 年代，之后不断改版以因应科技进步与工业发展，版本从原始的209、209A，一直到 1992 年的最后一版 209E。在 2001 年 11 月 29 日，美国正式宣布废止 209E，改用 ISO-14644，于是209E 在书面上走入历史。但是在产业界，除了部份的欧洲公司之外，美国、日本、台湾、与中国大陆，都还沿用 209E。微...
