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多晶硅生产工艺和反应原理VIP免费

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多 晶 硅 生 产 工 艺 和 反 应 原 理 第 一节多 晶 硅 的基础知识 多 晶 硅 的 基 础 知 识 重 要 的 半 导 体 材 料 , 化 学 元 素 符 号 Si, 电 子 工 业 上 使 用 的 硅应 具 有 高 纯 度 和 优 良 的 电 学 和 机 械 等 性 能 。 硅 是 产 量 最 大 、应 用 最 广的 半 导 体 材 料 ,它的 产 量 和 用 量 标志着一个国家的 电 子 工 业 水平。 在研究和 生产 中, 硅 材 料 与硅 器件相互促进。 在第二次世界大 战中, 开始用 硅 制作雷达的 高 频晶 体 检波器。 所用 的 硅 纯 度 很低又非单晶 体 。 1950 年制出第一只硅 晶体 管, 提高 了人们制备优 质硅 单晶 的 兴趣。 1952 年用 直拉法(CZ)培育硅 单晶 成功。1953 年又研究出无坩埚区域熔化 法(FZ), 既可进行物理提纯 又能 拉制单晶 。 1955 年开始采用 锌还原四 氯 化 硅 法生产 纯 硅 , 但 不 能 满 足 制造 晶 体 管的 要 求 。 1956 年研究成功氢 还原三 氯 氢 硅 法。 对 硅 中微 量 杂 质又经 过 一段 时 间 的 探 索 后 , 氢 还原三 氯 氢 硅法成为 一种 主 要 的 方 法。 到1960 年, 用 这 种 方 法进行工 业 生产 已 具 规 模 。 硅 整 流 器与硅 闸 流 管的 问 世促使 硅 材 料 的 生产 一跃 而 居 半 导 体 材 料 的 首 位 。 60 年代 硅 外 延 生长 单晶 技 术 和 硅 平面 工 艺 的 出现 , 不 但 使 硅 晶 体 管制造 技 术 趋 于 成熟 , 而 且 促使 集 成电 路 迅 速 发 展 。 80 年代 初 全 世界多 晶 硅 产 量 已 达 2500 吨 。 硅 还是 有 前 途 的 太 阳 电 池材 料 之 一。 用 多 晶 硅 制造 太 阳 电 池 的 技 术 已 经 成熟 ; 无定 形 非晶 硅 膜 的 研究进展 迅 速 ;非晶 硅 太 阳 电 池 开始进入 市 场 。 化 学 成分 硅 是 元 素 半 导 体 。 电 活 性 杂 质磷 和 硼 在合 格 半 导 体 和 多 晶 硅 中应 分别 低于0.4ppb 和0.1ppb。 拉制单晶 时 要 掺 入 一定 量 的 电 活 性 杂 质, 以 获 得 所要 求的 导 电 类 型 和 电 ...

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