多 晶 硅 生 产 工 艺 和 反 应 原 理 第 一节多 晶 硅 的基础知识 多 晶 硅 的 基 础 知 识 重 要 的 半 导 体 材 料 ， 化 学 元 素 符 号 Si， 电 子 工 业 上 使 用 的 硅应 具 有 高 纯 度 和 优 良 的 电 学 和 机 械 等 性 能
硅 是 产 量 最 大 、应 用 最 广的 半 导 体 材 料 ，它的 产 量 和 用 量 标志着一个国家的 电 子 工 业 水平
在研究和 生产 中， 硅 材 料 与硅 器件相互促进
在第二次世界大 战中， 开始用 硅 制作雷达的 高 频晶 体 检波器
所用 的 硅 纯 度 很低又非单晶 体
1950 年制出第一只硅 晶体 管， 提高 了人们制备优 质硅 单晶 的 兴趣
1952 年用 直拉法(CZ)培育硅 单晶 成功
1953 年又研究出无坩埚区域熔化 法(FZ)， 既可进行物理提纯 又能 拉制单晶
1955 年开始采用 锌还原四 氯 化 硅 法生产 纯 硅 ， 但 不 能 满 足 制造 晶 体 管的 要 求
1956 年研究成功氢 还原三 氯 氢 硅 法
对 硅 中微 量 杂 质又经 过 一段 时 间 的 探 索 后 ， 氢 还原三 氯 氢 硅法成为 一种 主 要 的 方 法
到1960 年， 用 这 种 方 法进行工 业 生产 已 具 规 模
硅 整 流 器与硅 闸 流 管的 问 世促使 硅 材 料 的 生产 一跃 而 居 半 导 体 材 料 的 首 位
60 年代 硅 外 延 生长 单晶 技 术 和 硅 平面 工 艺 的 出现 ， 不 但 使 硅 晶 体 管制造 技 术 趋 于 成熟 ， 而 且 促使 集 成电 路 迅 速 发 展
80 年代 初 全 世界多 晶 硅 产 量 已 达 2500 吨
硅 还是 有 前 途 的 太 阳 电 池材
