TFT-LCD行业废气处置研究

TFT-LCD 行业废气处置讨论薄膜晶体管液晶显示器（Thin FilmTransistor-Liquid Crystal Display，TFT-LCD），近几年在手机、电脑、电视、平板等行业广泛应用。TFT-LCD 生产工艺流程主要包括阵列（Array）、彩膜（Color Filter，CF）、成盒（Cell）、模块（Module）四部分。Array、CF、Cell 是排放气体污染物的主要环节，目前 TFT-LCD 行业废气污染物排放采纳《大气污染物排放标准》（GB16297—1996）和《恶臭污染物排放标准》（GB14554—1993），而这两个标准都已发布20 多年，已严重滞后。2025 年生态环境部发布了《电子工业污染排放标准》第二次征求意见稿[2]，对 TFT-LCD 行业各项污染物的排放值进行了规定，相比于目前所采纳的标准，废气中的污染物排放值要严格数倍不等，对于适应了近 20 年的低标准运转的 TFT-LCD 行业来说是一次挑战。目前 TFT-LCD 废气处置讨论文献较少，本文对某 TFT-LCD 企业废气处置现状进行讨论，分析 TFT-LCD 行业目前废气处置技术所排放的污染物浓度与新标准之间的差距，为迎接新标准做好准备。1 背景介绍1.1 行业进展现状一直以来，全球液晶面板产业由三星、LG、夏普、友达、奇美五大巨头控制，近几年以来，显示行业在智能手机、平板电脑等消费类电子产品的推动下，产业规模持续扩大，国内液晶面板行业抓住机遇，突破技术封锁，快速进展，并且从 TFT-LCD 调整产能投向 OLED（有机发光二极管，Organic Light-Emitting Diode）。2025 年，国内显示面板产线（量产+在建+规划）共 21 条，而截至 2025 年 10 月统计，中国内地已建和在建的 TFT-LCD 和 OLED 产线共有 51 条，共 20 家企业（见表 1），总投资额达到 12332 亿元人民币。另外还有维信诺和群显规划建设 OLED 产线 2 条，华锐光电规划建设 TFT-LCD 产线 1 条。1.2 工艺简介Array 生产车间负责阵列基板的生产，包括玻璃基板清洗、化学气相沉积、溅射、光刻、刻蚀、剥离等工序。Array 工艺使用外购的专用玻璃基板，充分清洗后在其清洁洁净的表面上通过化学气相沉积（CVD）的方法形成半导体膜或绝缘膜，通过溅射镀膜的方法形成金属膜。然后对栅电极及引线、有源层孤岛、源漏电极及引线、接触过孔、像素电极，经光刻胶涂敷、光刻胶曝光、显影等光刻工艺并经湿法刻蚀、干法刻蚀后，剥离掉多余的光刻胶，经热处理把半导体特性作均一化处理后即做成阵列玻璃基板。Array 工艺中使用大量的化学品和特气，产...