內層乾膜作業流程指導書1.目的：建立操作程序方法及制度，並提供作業人員及新進人員訓練參考之教材。2.範圍：本操作規範適用於內層課作業人員，於作業內層板時使用。3.權責：3-1.該生產單位負責內層之運作及生產工作，依化驗數據配製及添加化學藥品、化學用品之領用及存放。3-2.化驗室負責管控全場藥液取樣、分析及提出化驗報告。3-3.維修單位須負責機器設備異常的處理。4.作業流程說明：4-1.針對各製程段進行機器、材料、藥水濃（溫）度等製程條件進行定期檢驗，以達到製程穩定品質提升之效能。製程管控項目換槽／添加規定配槽量配槽說明脫脂槽換槽：（每星期）1.漏掉槽液。2.清除槽底污垢。3.重新配槽如配槽程序。注意事項：1.加藥時須佩帶護目鏡、耐酸鹼手套及耐酸鹼圍裙避免藥液噴濺造成傷害。2.如不慎皮膚接觸藥液時，應立即以大量清水沖洗，如有不適時應立即送醫。槽體積：1000Ｌ酸性清潔劑（C768S）：40L1.先注入纯水至槽內1/2水位再倒入酸性清潔劑（C768S）40L再將水加入標準位置。2.攪拌時間需達到10分鐘以上，並且空機run15分鐘以上讓藥水完全混合均勻。。製程管控項目換槽／添加規定配槽量配槽說明微蝕槽H2SO2：2～5﹪SPS：70～100g/lCu2+：Below35g/l溫度控制：28±2℃換槽：（銅含量達35g/l）1.漏掉槽液。3.清除槽底污垢。4.重新配槽如配槽程序。5.每日取樣依化驗室分析數據添加。化驗後添加:1.磅秤所應添加入槽中之SPS後，將SPS倒入配槽用水桶，取微蝕槽內之原液加入配槽用水桶、(目地為加水會稀釋原藥液)、攪拌使SPS溶解後，始倒入工作槽內。注意事項：1.加藥時須佩帶護目鏡、耐酸鹼手套及耐酸鹼圍裙避免藥液噴濺造成傷害。2.如不慎皮膚接觸藥液時，應立即以大量清水沖洗，如有不適時應立即送醫。槽體積：1000ＬSPS：75㎏硫酸50﹪：50㎏硫酸98﹪：2gal化驗後：使用量桶裝盛SPS磅秤化驗後所需重量。1.將微蝕槽加入純水400公升。2.倒入銅面處理劑（sodiumpersulfate）簡稱SPS-e285。3包75㎏，攪拌均勻，或用水桶攪拌均勻再倒入槽內。3.倒入硫酸502﹪桶50㎏。4.倒入硫酸982gal﹪，加水至1000L即完成配槽。在配完槽時，到入原先預留舊液5公升，目的是讓化學反應更快，並且空機run15分鐘以上讓藥水完全混合均勻。5.未經攪拌溶解之SPS藥粉，不能直接倒入槽內。6.攪拌時間需達到10分鐘以上。製程管控項目換槽／添加規定配槽量配槽說明酸洗槽換槽：（每班）1.漏掉槽液。2.清除槽底污垢。3.重新配槽如配槽程序。注意事項：1.加藥時須佩帶護目鏡、耐酸鹼手套及耐酸鹼圍裙避免藥液噴濺造成傷害。2.如不慎皮膚接觸藥液時，應立即以大量清水沖洗，如有不適時應立即送醫。槽體積：250Ｌ硫酸98﹪：2gal1.先注入纯水至槽內1/2水位再倒入硫酸982gal﹪再將水加入標準位置。顯影槽PH值：10.8～11.2。溫度：28～30℃。CO32-：9～12g/l。換槽：（每星期）1.漏掉槽液，清除槽底污垢。2.加入TC-607顯影槽清潔劑600L，加滿水，升溫45℃，空Run1小時。3.待清洗完畢後，漏掉清潔劑，加入清水清洗2次，每次30分鐘，完成後更換濾心，即完成洗槽。4.重新配槽如配槽程序。5.每日取樣依化驗室分析數據添加。注意事項：1.加藥時須佩帶護目鏡、耐酸鹼手套及耐酸鹼圍裙避免藥液噴濺造成傷害。2.如不慎皮膚接觸藥液時，應立即以大量清水沖洗，如有不適時應立即送醫。槽體積約1000Ｌ。PC-450顯影液約22L。1.按下添加水開闢注入純水於預備槽，待水位達到1/2，將PC-450顯影液8L倒入後，在將水加至365L，打開攪拌器，攪拌時間需達15分鐘以上，使水及顯影液混合均勻，才可注入建浴槽。2.當完成配槽後、人員需做最後確認、開啟攪拌開關時、一定要打開預備槽，槽蓋確認攪拌器是否有動作，避免顯影濃度不均。製程管控項目換槽／添加規定配槽量配槽說明蝕刻槽1.比重：1.305～1.320。2.Acid：1.4～2.0N。3.Cu2+：115～135。1.漏掉槽液。2.清除槽底污垢。3.重新配槽如配槽程序。4.每日取樣依化驗室分析數據添加。注意事項：1.加藥時須佩帶護目鏡、耐酸鹼手套及耐酸鹼圍裙避免藥液噴濺造成傷害。2.如不慎皮膚接觸藥液時，應立即以大量清水沖洗，如有不適時應立即送醫。槽體積：1500Ｌ。HCL：CC-35＝2：51.由AQUA再生...
