CRYO PUMP 原理VIP专享VIP免费

CRYOPUMP原理Ⅰ.CRYOPUMP基本构造Ⅱ.CRYOPUMP原理介绍①。MoleculesandTemperature（分子与温度）②。CaptureTheory（捕获理论）③。工作原理描述Ⅰ.CRYOPUMP基本构造Cold-HeadCold-HeadPowerPowerCableCableInputPowerCableInputPowerCableToToRoughingRoughingSystemSystemSupplyLineReturnLineHeliumCompressorUnitControlModuleMountingFlange(InterfacetoVacuumChamber)ColdHeadCryopumpON-BOARDCryopumpCTI-CRYOGENICSⅡⅡ.CRYOPUMP.CRYOPUMP原理介绍原理介绍⑴MoleculesandTemperature（分子与温度）空气中在不断运动的分子具有的动能，温度决定他们的平均动能，该温度越高，更快的分子移动。WaterBoils373K100oC212oFRoomTemperature293K20oC68oFWaterFreezes273K0oC32oFNitrogenBoils77K-196oC-320oFHydrogenBoils20K-253oC-423oFHeliumBoils4.2K-269oC-452oFAbsoluteZero0.0K-273oC-459oF⑵⑵CaptureTheoryCaptureTheory（捕获理（捕获理论论）Cryocondensation（冷凝）：Pumping空气中的水汽通过低温冷凝，气体形成霜并冷凝阵列上一层（一级冷凝面）。Cryoadsorption(吸附）：是通过冷却让气体失去足够的动能，让他们吸附在二级冷凝面，非冷凝气体H2，He和Ne被最底层的活性炭吸附。捕获可以分为三级来完成捕获可以分为三级来完成80Karray：一级冷凝面由镀镍铜制成，主要吸附水蒸汽、碳氢化合物。15Karray：二级冷凝面也是由镀镍铜制成，主要吸附N2,O2,Ar,CO2,andCO。最底层的活性炭主要吸附H2,He,andNe。HH22OONN22ArArNeNe8080KK~15~15KK~15~15KKHH22ThissurfacepumpswatervaporbycryocondensationThissurfacepumpsairgasesbycryocondensationThissurfacepumpsH2,He,andNebycryoadsorptionCTI-CRYOGENICSFlangeCentralProcessorVacuumVessel1stStageArray2ndStageArrayRadiationShield1stStage:65-80K2ndStage:10-14K1低温泵是围绕冷头创建凝聚和吸收气体所需的温度,两个阶段的不同温度是通过氦的膨胀达到这些温度。2低温泵在不同温度的不同地方捕获不同的气体、3一个集成控制模块控制并保持冷凝头必要的温度工作原理：以氦气作为制冷剂，即热量载体。压缩机将氦气压缩至200psi的高压，高压的氦气在冷泵冷头处膨胀吸热，实现冷头的降温，冷头的温度最终降到10K（-263°C）左右来实现对气体的吸附。吸热膨胀后氦气回到压缩机中重新被压缩，体积压缩过程中释放的热量被冷却循环水带走。工作原理描述工作原理描述ControlModuleH2OO2,N2,ArH2,He,Ne12KArraysw/Charcoal