有关洁净室等级FS-209E 和ISO14644-1 的对比分析 1、 等级依据公式不同而引起结果差异 ISO14644-1 的洁净的度等级依据公式与FS209E 的不同，主要是将参照粒径由0.5um 改成0.1um；累计分布系数n，由2.2 改为2.08。其结果的差异是： 1） ISO 1 级比FS209E 的M1 级达更严的要求。ISO1 级对被考虑粒径为0.1um 时，其≥0.1um 粒径最大浓度限值，即被考虑粒径下粒子累计分布最大浓度值，为10pcs/m3,而M1 级则为350pc/m3，其对照可见表 2。ISO 的等级就更适应对洁净度控制要求更严密的发展需要。 2） 由于 FS209 的英制洁净度等级已为大家所熟悉，改用其他标准的等级必然需要有个方便的对应关系。ISO3、4、5、6、7、8 级各与英制的1、10、100、1000、10000、100000 级相当，即在被考虑粒径D=0.5 um 时，其≥0.5um 粒子的最大浓度限值是相同的；ISO 的相关等级序数都是整数，若 n 仍采用 FS209EDE2.2,则与英制等级对应的ISO 等级序数就不是整数了，因此问题不在于 2.08还是2.2 更符合实际，而在于放方便合适，因为大气中悬浮粒子累计分布指数n，其经验值一般在 2~2.3 间。 表 1 ISO 14644-1 与 FS209E 标准的差异点 项目 FS-209E ISO14644-1 1.划分等级 强调按其洁净度等级表中所列的标准等级，亦强调按等级公式 列出等级公式 2.等级依据公式 Cm=(0.5/D)2.2×10M 粒子数/ft3=Nc*(0.5/D)2.2(英制) Cm—某等级下，≥D 的悬浮粒子最大浓度限值Pc/m3 D—被考虑粒径 u m M—洁净度等级序数 Nc—英制单位的洁净度等级 Cm=(0.1/D)2.08×10N Cn—同左 Cm D—同左 N—同左 M 3.等级数 M1—M7 ISO1—ISO9 级 4.测试时洁净室状态 未作规定 1 种或更多状态 5.测试的粒径范围要求 1 个或更多 1 个或更多，其粒径至少应为下一个较小粒径的 1.5 倍 6.最小取样体积 2.83L 2L 7.取样点数 非 单 向 流 ： A ×64/(10M)0.5 单 向 流 ： A/2.32,A×64/(10M)0.5中取较小者 A 8.取样次数 1 次或更多 1 次，若仅为一点时则 取样3 次 9.超微粒子 ≤0.02um <0.1um 10.大粒子 未作规定 >5um 11.等动力取样 包括 未包括 由于两标准的 n 值取得不一，ISO 有关与 FS209 英制等级相对应的等级，除被考虑粒径 D 为 0.5um 外，其它各被考虑粒径下的累积分布最大浓度限值便不同，如在 D<0.5um 时，其累积分布最大浓度限值，ISO 有关等级比相当的 FS209...
