硅片不良的解决方案

一．断线：如何让预防断线；断线后如何处理（M&B。NTC HCT）把损失降低到最少二．硅片崩边。线式崩边 点式崩边 倒角崩边三．厚薄不均：一个角偏薄，厚薄不均四．线痕：密集线痕 亮线线痕 五．花污片：脱胶造成的花污片 清洗造成的花污片具体是什么参数比如 0.10 钢线要求瞬间破断力多少？1200# 1500# 2000#碳化硅的颗粒圆形度 粒径大小要求 黏度 张力要求多少等 我在这里就不提供了 大家去根据这个方向去找对策做计划（P），做好可量化的点检表（D），主管亲自抓班长去督导（C），总结检查的结果进行处理，成功的经验加以肯定并适当推广、标准化；失败的教训加以总结，以免重现未解决的问题放到下一个 PDCA 循环（A）。断线善后处理首先做好断线记录（断线时间、机台号、部位、切深）留好线头1.查明断线原因及断线情况.2.急时上报，未经同意，不得私自处理。3.处理流程：1.在出线端断线,宽度不超过 10 毫米的直接拉线切割.2.切深≦60mm 中部或进线端断线，以 30mm/min 直接升起，迅速布线，8000 流量砂浆冲洗，冲片时在线网上铺上无尘纸，冲开粘在一起的片子后，迅速把晶棒降到距线网 2mm 处，然后以 10mm/min 的进给认真认真的“认刀”。3.中部或进线端断线，切深在 50mm---80mm 之间的，以 10mm/min 的速度升料到距进刀处 30--40 毫米,，停止。线速调到 2m/s，以 2%走线 1cm，以调平线网，停止。打开砂浆 8000 流量均匀冲片子。把晶棒两侧的线网小心的剪掉（剪时要用手捏着）,留出 3-4 厘米的线头,另一端不剪.(进线端有线网的一定要保留该部分线网,以便重新布线.剪两侧线网时一定要用手或其他夹紧物,夹紧预留的线网头.)布线网,重新切割。4 进线端或中部断线切深超过 80mm 的视情况能认刀的就认刀否则就反切或直接拉线正向切割。4.进线端断线，第一次断线，切深在 80mm.1 换掉放线轮，用一个空的收线轮来代替。以低于原 2N（左 19 和右 21）的张力，切割线方向改为:右，其他参数不变,手动 2m/s 的线速走1m,不要开砂浆。2 把晶棒提升至 30---40mm 处，重新对接焊线，焊线时要焊接均匀，焊接点的点径要和线径相同。经 15N 的线速走线 300——400 米，改张力为自动切割的张力，每秒 1 米，不开沙浆，走到出线端 5 米时，把张力改为 15N，待线头在收线轮上绕 2——3 圈，改回原来的张力。把晶棒压到断线位置误差在 0.05mm，打开砂浆。以 1m/s 速度的 20%，走上 1m，经班长确认...