华磊光电xxxxxxxxx有限责任公司述职报告报告人:xxx华磊光电提纲1.个人基本资料2.所负责机台产量情况3.所负责机台质量情况4.对品质提升的贡献5.专业知识，工艺技术的掌握程度6.技术改造，技术创新及取得的成效7.合理化建议8.技术资料，文档的归档9.今后的工作措施及想法10.专利申请11.技术团队技术的承接12.总结华磊光电1、个人基本资料姓名xx性别男出生年月x名族汉籍贯x政治面貌群众家庭住址x婚否否联系电话x最高学历x文化程度x英语水平x参加工作时间x入本公司时间x岗位x华磊光电2.所负责机台产量情况入司至今，已负责调试完成三台MOCVD至量产，分别是AB、AF和AI1）2009年10月8日，AB机台第三次验收完成，交与我公司，开始华磊自己工艺调试，到2009年10月30日，AB0054GBMT开始量产平面0709外延片，用时22天，研发53炉。AB机台现共量产850炉，产出21192pcs。2）2010年3月1日，AF机台第三次验收完成，交与我公司，开始华磊自己工艺调试，到2010年3月10日，AF0016GBPT开始量产粗化0709外延片，用时10天，研发15炉。AF机台现共量产390炉，产出9592pcs。3）2010年4月24日，AI机台第三次验收完成，交与我公司，开始华磊自己工艺调试，到2010年5月10日，AI0042GBBT开始量产粗化0709外延片，用时16天，研发41炉。AI机台现共量产310炉，产出7556pcs。通过调试三台MOCVD，巩固了以前的技术经验，同时也发现了很多新的思想，摸索到了CruisⅠ31pcs机的一些特点，比如31片机台比19片机台波长均匀性更难调等。华磊光电3.所负责机台质量情况1）AB机台现稳定量产蓝光波长平面外延片，供应武汉华灿。波长控制在466-473.5nm，波长良率85%以上，ESD稳定、电压教低、亮度稳定提升。2）AF机台稳定量产0709方片，ESD稳定在90%以上。现调试完成可以转0815方片，ESD85%以上，亮度在200mcd（@460nm）只需稳定供应PSS衬底。还有，AF已验证蓝光平面外延片，等待武汉华灿验证结构，如公司需要，可随时量产蓝光波段平面外延片。3）AI机台稳定量产0815方片，ESD稳定在90%以上。亮度在200mcd（@460nm）只需稳定供应PSS衬底。4）其他机台都已稳定量产0815方片，现提供一种新PSSbuffer、U生长结构，可以达到PSS的稳定量产，现在AI和AE机台实验。华磊光电4.对品质提升的贡献对外延厂品质提升，主要有以下几点：1）提高每炉最外圈(outer)外延片ESD良率，主要有从两个方面改善：第一，硬件上，将原来衬底大平变边朝内改朝外，原来ESD不良的位置主要在最外圈外延片的朝外部分，通过改变摆放位置，将最外圈外延片ESD不良的位置移到大平边，提高了ESD良率。第二，在外延生长结构中，将U2的反应室压力由300mbar降到150mbar，实际结果，也改善了outer的ESD。2）提高外延片ESD稳定性，主要是从1023技术团队中吸取经验，在现有LED外延结构中，增加一层FBBS，提高ESD稳定性。3）提高ESD和亮度，在AB机台调试研发过程中，得到一种新的生长MQW，通过在垒阱层生长温度变化过程中，增加一层低温垒层，来改善垒层与阱层温度变化所导致的内应力，提高内量子效率。4）提高每炉PSS生长的稳定性，一种改变U层生长条件，主要是温度，很好地解决PSS生长时底部图形填充不充分问题，提高PSS生长的稳定性。华磊光电5.专业知识，工艺技术的掌握程度1）专业知识：学习了《半导体器件物理》、《固态物理学》、《固体照明理论》等基础知识，也掌握了量子理论，能带理论等基本理论，也查阅了大量关于LED外延技术生长的资料，包括一些原材料的物理化学性质，反应条件等。同时了解一些测量原理，比如X射线衍射仪（XRD）、霍尔测量仪（Hall）、原子力显微镜（SEM）、镭射激发光谱仪（PL），电致发光光谱仪（EL）等设备的检测原理。2）工艺技术：掌握平面衬底和PSS的生长方法；掌握镜面结构，粗化结构生长方法；拥有两套成熟的LED生长结构，能通过监控、检测数据，改变生长条件，调试外延片到量产水平；也能调试绿光工艺至量产。华磊光电6.技术改造，技术创新及取得的成效1）技术改造：通过与外延厂技术人员一起探讨，在MOCVD设备硬件上通过升级heaterzoneC，使用37pcs石墨盘代替31pcs，每炉产量增加6pcs，提升近20%，外延厂的...
