扫描电镜样品制备显微镜课件CATALOGUE目录•引言•扫描电镜原理与操作•样品制备方法及技巧•显微镜辅助制备技术展示•实验环节：动手实践体验•总结回顾与展望未来进展01引言扫描电子显微镜（ScanningElectronMicroscope,SEM）是一种利用电子束扫描样品表面并接收样品散射的次级电子、从而得到样品表面微观结构的高倍率成像仪器。扫描电镜定义电子枪发射的电子束经过几级电磁透镜缩小后，到达样品。当电子束与样品作用时，会产生多种信号，其中最重要的是次级电子。次级电子被探测器接收后，通过信号处理并调制显示器上一个像素发光，这个像素所发出的光就代表样品上被电子束扫描过的这一点所发出的次级电子的信号。工作原理扫描电镜简介样品制备对SEM成像影响样品制备的好坏直接影响到SEM成像的质量。如果样品表面不干净、不平整或者存在电荷积累等问题，都会导致成像质量下降，甚至无法成像。样品制备目的样品制备的目的就是使得样品表面干净、平整、导电，并且具有代表性，以便得到高质量的SEM图像。样品制备重要性在制备过程中，可以使用光学显微镜对样品进行初步观察，以确定需要处理的区域和处理方法。同时，在处理过程中也可以使用光学显微镜进行实时监测，以确保处理效果。光学显微镜电子显微镜可以用于对制备好的样品进行高倍率观察和分析。通过电子显微镜可以更加清晰地看到样品表面的微观结构，并且可以对不同区域进行成分分析和晶体结构分析等。电子显微镜显微镜在制备中应用02扫描电镜原理与操作利用电子枪发射的电子束，经过电磁透镜聚焦后，扫描样品表面并接收散射电子，形成放大的图像。电子光学系统通过控制电子束在样品表面的扫描轨迹，实现图像的逐点、逐行扫描。扫描系统检测样品散射回来的电子信号，经放大、处理后转换成可视化的图像信息。信号检测系统工作原理简述图像获取与处理观察并记录图像信息，必要时进行图像处理和分析。调节扫描速率与像素设置合适的扫描速率和像素大小，以获得清晰的图像。选择工作模式根据观测需求选择适当的扫描模式（如二次电子像、背散射电子像等）。开机与校准启动扫描电镜系统，进行光路校准和像散校正，确保图像质量。样品安装将待观测的样品固定在样品台上，调整工作距离和对中。操作步骤演示确保待观测的样品具有导电性，否则需进行喷金或其他导电处理。样品要求安全防护设备维护操作过程中需佩戴防护眼镜和手套，避免直接接触电子束和样品。定期对扫描电镜系统进行清洁和维护，保持其良好的工作状态。030201注意事项提醒03样品制备方法及技巧使用细砂纸或研磨布对金属表面进行研磨，去除氧化层和污渍，获得光滑表面。机械研磨利用化学溶液对金属表面进行抛光处理，去除划痕和不平整区域，提高表面质量。化学抛光通过电解抛光液去除金属表面的微观不平整和氧化物，获得镜面效果。电化学抛光金属样品处理方法干燥采用自然干燥、热风干燥或冷冻干燥等方法，确保非金属样品表面干燥无水分。清洗使用去离子水、乙醇或其他溶剂清洗非金属样品表面，去除污渍和油脂。镀导电层对非导电性非金属样品表面镀导电层，提高扫描电镜成像质量。非金属样品处理方法123针对具有多层结构或不同材质的复杂样品，采用分步处理方法，逐层或逐材质进行处理。分步处理对复杂结构样品中的特定区域进行局部处理，如使用聚焦离子束刻蚀技术（FIB）进行局部切割或镀层。局部处理利用微操作手、夹具等辅助工具，对复杂结构样品进行精确操控和处理。辅助工具复杂结构样品处理策略04显微镜辅助制备技术展示利用光学显微镜观察样品表面形貌，确定需要制备的区域。样品定位通过显微镜的导航功能，精确引导制备针尖至目标位置。导航辅助在制备过程中，实时观察样品表面变化，确保制备效果。实时监控光学显微镜辅助定位技术元素分析通过电子显微镜配备的能谱仪，对样品进行元素成分分析。晶体结构鉴定利用电子衍射技术，鉴定样品的晶体结构和相组成。高倍率成像利用电子显微镜的高倍率成像功能，观察样品的微观结构。电子显微镜辅助表征技术纳米级操作利用原子力显微镜的纳米级操作能力，对样品进行精确制备。力学性能测试通过原子力显微镜的力学测试功能...
